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真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmhg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmhg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmhg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmhg下长期工作。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有---的抽速，但不能抽---，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，水泵维修维保厂，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。