真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmhg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmhg,真空泵,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmhg下长期工作。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,维修真空泵,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有---的抽速,但不能抽---,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在---压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
真空泵电机温度高解决效果:1)、由于轴流风机转速高,风压风量大,冷却效果---增强,在相同的环境温度、负荷电流下,主电机温度下降了12℃。夏季主电机温度未再超限;2)、轴流风机可人为控制,主电机停运后,轴流风机仍可运行,可以使主电机得到充分冷却;3)、尽量使2段母线负荷分配平衡,以防某段母线因负荷过重造成电压下降过多;4)、电压调整后,真空泵 维修,真空泵运行电流降为210a,---量相对减小;5)、减缓了主电机的绝缘老化速度,延长了其使用寿命。
真空泵选用的方法:
1、工艺要求达到的真空度
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(压力)的真空度,旋片式真空泵,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果压强要求低于3300pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。
2、工艺要求的抽气量(抽气速率)
真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,l/s,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。
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